主要附件：進口的空氣壓縮機（帶空氣過濾器）；功能：進口循環冷卻水系統。

1.Scott霧室正交霧化器進樣系統、40MHz自激式固態高頻發生器、等離子體雙向觀測系統精密度：1ppm；2.混合多元素溶液：CV<0.5%；3.穩定性：1小時RSD<1%，4小時RSD<2%；4.分辨率：在200nm處；5.光學分辨率：0.007nm；6.像素分辨率：?0.003nm。